FLP系列的特點(diǎn)
低脈動(dòng)
通過激光位移傳感器和接近開關(guān)不斷監(jiān)控波紋管的位置。泵本身無需任何附加設(shè)備即可減少脈動(dòng)，因?yàn)榭刂破鞔_定了通過電磁閥左右移動(dòng)波紋管所需的適當(dāng)相移量。
減少傳感器
不需要外部傳感器，因?yàn)椴y管的泵相位控制完全取決于設(shè)計(jì)中包含的激光和接近傳感器的信號(hào)。
高壓力
最佳的波紋管運(yùn)動(dòng)增加了持續(xù)的壓力承受能力，在頻繁的負(fù)載變化下，尤其是在單晶片加工中，可保持穩(wěn)定的排放能力和壓力。
安全設(shè)計(jì)
焊接的波紋管結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏。即使波紋管損壞，內(nèi)置的泄漏傳感器也會(huì)檢測(cè)并提供反饋，以確保安全操作。
